超纯水是现代工业中一种十分重要的原材料，已被广泛应用于半导体、微电子、电力、化工和医药等领域。

　　随着超纯水制备工艺的不断进步，传统的阳阴离子交换工艺逐渐被反渗透系统取代，传统的混合离子交换则逐渐被电去离子( EDI) 装置取代，从而发展成了反渗透( RO) +电去离子( EDI) 脱盐系统。与传统方法相比，该系统具有出水质量高、连续生产、使用方便、无人值守、不用酸碱、不污染环境、占地面积小和运行经济等一系列优点，被称为“绿色”脱盐系统。

　　反渗透是渗透的逆过程，它主要是在压力的推动下，借助半透膜的截留作用，迫使溶液中的溶剂与溶质分开的膜分离过程。目前，利用反渗透膜技术生产超纯水的工艺已经很成熟，反渗透膜元件能够有效地降低水的电导率和其中总溶解性固体的含量，对大部分盐类成分的截留率超过95% ，并且水通量大。虽然也出现了膜污染问题，但是通过化学清洗的方法可以有效地解决。

　　通过控制反渗透的级数可制取不同纯度脱盐水。随着反渗透级数的增加，脱盐水的纯度提高，但是出水量减少，水利用率降低，因此，反渗透装置连用一般不会超过二级，通常将反渗透与电去离子技术联用，不仅克服了反渗透出水不能彻底除盐的不足，还可以提高电去离子装置的进水水质，防止电去离子设备损坏，提高整体净水效果。